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助力尖端精密制程迈向智能转型 台达工业自动化解决方案亮相国际展会
文|机电事业群 2024/10
数字双生技术正带动新一波的智能制造转型。另一方面支撑全球高科技发展的半导体制造,从前端的芯片制造,到后端的封装测试,藉由软、硬件的无缝串联与前后端整合创新,可大幅提高半导体制造设备及产线的可靠度与效能。台达今年于“2024台北国际自动化工业大展”,以及与子公司Universal Instruments (以下简称UI) 携手参与的“SEMICON Taiwan 2024国际半导体展”中,展出多种软硬件整合方案与先进设备,彰显台达深耕自动化、半导体制造设备领域的实力。

虚实整合数字双生技术 助攻产业创新
台达在今年两大展会中所展示的虚拟机台开发平台DIATwin,为一款具备虚拟机台建构、脱机制程规划与虚拟调机等功能的数字双生解决方案。面对电子产品的快速迭代,引入新产品时,调试机台需耗费大量人力与时间。DIATwin整合AI技术,内建高拟真物理引擎与组件数据库,让虚拟模型与现实机台紧密连结,藉由虚拟机台快速测试机构设计与制程参数,可节省新产品导入时间约20%。两大展会现场,DIATwin整合前端设备演示生动的虚实整合应用,成为现场亮点之一。

DIATwin已成功应用在精密的电路板组装制程,协助电子组装大厂加快新产品的生产导入,藉由软件仿真与运算,优化机器手臂涂胶路径,可缩减8成以上的调机时间。在半导体制程的应用上,以晶圆检测为例,只要导入晶圆边缘轮廓量测仪的3D模型档案,DIATwin即可精准模拟晶圆上下料的点位及路径,预先评估生产周期,大幅降低新机种导入的实体试误成本。

左图:自动化展媒体见面会上,由机电事业群副总经理巫泉兴介绍智能工厂、虚拟机台开发平台DIATwin、智能仓储物流、裸晶高速取放等多种智能制造解决方案;右图:台达在国际半导体展,展示整合DIATwin数字双生技术的晶圆轮廓仪,可用于半导体前端制程模拟

前后端设备创新 灵活应对半导体产线多样化需求
在创新设备方面,针对前端芯片制程中所需的晶圆检测,台达推出晶圆边缘轮廓量测解决方案,以AOI光学技术进行非接触式光学量测,检测晶圆是否有缺角、磨损,具微米级重复精度,每小时约可量测60~120片晶圆,使芯片制程得以顺利进行。此方案亦支持自动机器手臂上下料,以及AGV搬运系统,并提供多种功能模块选配,将多元功能整合于单一机台,减少制程中机台切换频率,大幅提升单一机台价值。

半导体封装最大的痛点,莫过于各种不同的芯片与组件的供料与贴装处理,需搭配各种专用供料与贴装设备,不仅徒增投资成本,更需费心处理占地面积与制程的复杂性。整合UI技术优势,应用于后端制程的高速多芯片先进封装设备,搭载FuzionSC™高精度平台与高速晶圆送料机(High-Speed Wafer Feeder),具备高于业界3倍速度,贴装重复度小于 3 微米以内。单一设备平台即可将各种芯片、被动组件和异形组件贴装在多种基板与载体上,灵活应对产线多样化需求。

深入洞察市场需求,助力各产业迈向智能制造
除了半导体行业先进设备与解决方案,台达积累多年在工控应用现场深厚经验,淬炼整合多种行业智能解决方案,助力尖端精密制程迈向数字转型。自动化展上,台达因应电商经济蓬勃发展,推出智能仓储物流解决方案,结合3D机器视觉与无线充电系统,提高无人搬运设备效率,再导入台达仓储管理系统,即可优化人力配置,节省仓储物流成本约达30%。裸晶高速取放解决方案全新应用,则以微型线马致动器 LPL系列为核心,达到芯片高速、高精度取放操作,对比传统机构设计,生产周期缩短约15%,产品良率可提升约20%,可应用在半导体与电子组装行业的精密产线。在自动化展现场展出之线性马达展示机,速度快慢调节自如,展现台达在精密制程运动控制领域的技术实力,吸引不少来宾驻足观赏。

左图:自动化展展出裸晶高速取放解决方案,整合台达自主研发精密运动控制技术,吸引来宾驻足聆听解说;右图:台达在国际半导体展,展出的高速多芯片先进封装方案能以高于业界3倍速度,贴装重复度小于3微米以内,灵活应对产线多样化需求

自动化展期间,台达也举办多场研讨会,主题含括数字双生技术、智能工厂与设备联网、电子组装智能压接、厂务绿色转型等主题,全方位解决方案对应设备、产线到厂办等不同需求。国际半导体展上,UI全球销售平台总监Glenn Farris更受邀参与大会举办“专家开讲”活动,分享制程市场趋势、先进封装技术现况,与台达软硬整合解决方案如何提高设备稼动率。现场观众也针对最新的高带宽内存(High Bandwidth Memory, HBM)技术,进行提问与交流,现场互动十分热络。

随着两大展会圆满落幕,台达将持续应用数字双生及AI技术,以数字赋能半导体行业的精良设备与高度精密制程,协助产业伙伴乘上下一波智能制造新浪潮。
左图:自动化展期间,台达也在展位举办多场研讨会。图为NVIDIA 专家至展位现场,分享 Omniverse 平台如何实现DIATwin的虚实整合应用开发;右图:UI全球销售平台总监Glenn Farris于国际半导体展智能制造专家开讲舞台,分享先进封装趋势及台达解决方案

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